サイト内検索

今回はGGB社製のT-4ニードル（別名キャットウィスカーニードル）を取上げてみました。 T-4ニードルは超LSＩや液晶等の微細回路解析を行う技師から”使い勝手が良い”と　とても高評価のプローブニードルです。 もともと低入力容量プローブであるピコプローブの専用ニードルとして開発されたものを一般プロービング用としても使えないかということで考案された製品です。そのため、ピコプローブを使用するフィールドでは多く併用されています。 T-4ニードルとは GGB社製 T-4ニードル（別名キャットウィスカーニードル） 　T-4ニードルは超LSＩや液晶等の微細回路解析を行う技師から「使い勝手が良い」と高評価のプローブニードルです。 　「低入力容量プローブであるピコプローブの専用ニードルとして開発されたものを、一般プロービング用としても使えないか」 ということで考案された製品です。そのため、ピコプローブを使用するフィールドでは多く併用されています。 　サブミクロン級電子回路の研究開発・検査解析等における電源供給、電圧、電流測定を目的とした電気特性検査では、人間が直接微細回路へアプローチするための針当て（コンタクト）作業が必要となります。（一般的にこれらの作業を総称してプロービングと言います。） 　このプロービングの際に一般的なサイズのφ0.5ｍｍのプローブニードルを用いた場合、その先端半径が小さいものでも0.5～1μＲ程あるため、コンタクトが可能となるエリアの制限と物理的な問題が生じてしまいます。 　この問題は、Φ0.5mm程の太い軸部が顕微鏡の視界を妨げることや、過大圧力による回路損傷、ニードル先端の曲がり、等が発生してプロービングの不具合原因ともなります。 　T-4ニードルは変形自在のΦ0.5mmワイヤーに、コンタクト素材となる髪の毛より細い極小（5μ、10μ、20μ、35μ、60μ）のタングステンワイヤー（キャットウィスカー部）を接続して製作しているため、タングステンワイヤー独自の柔軟性が適正なバネ圧力となり過剰な負荷が低減され、回路へのコンタクトを安定させることができます。 　極小径のワイヤーに対し先端のテーパー部分はさらに細くなっているため、パシベーション剥離後のレーザースポットにも容易にコンタクトができます。 　IC開発が盛んな1980年代、技師達は当時まだ1μmレベルの回路にコンタクトが可能なニードルが存在していなかったため、金のボンディングワイヤーを手で引延し切断してその伸びて尖った部分をニードルの変わりとして利用しICの解析を行っていました。 　その技師達の苦労をヒントにT-4ニードルが誕生しました。プロービングは顕微鏡下で行いますが職人技の作業となります。 中村＠NPS 写真左がT-4ニードルのタングステンワイヤー部 右は一般プローブニードル

GGB社のマイクロ波プローブは他社製のマイクロ波プローブと異なり、触針先端までが同一導線による完全同軸構造により製作されております。 （GGB社特許） グランド、シグナル部の触針先端はエッジコンタクト式となっており、酸化膜や硬度のある接触面に良好な接触が実現できるため、オンウェーハ等のアルミ電極においても低接触抵抗による高精度測定が可能となります。 この触針構造によりあらゆる形体のパッケージやDUTに対応すべく形状（例VPスタイル）を用意しております。 特注対応での非磁気性構造(非磁性)仕様のタイプも製作しております。 マイクロ波用ピコプローブとは 　GGB社のマイクロ波用ピコプローブは他社製のマイクロ波用プローブと異なり、触針先端までが同一導線による完全同軸構造により製作されています。 （GGB社特許） 　 　グランド(G)、シグナル(S)部の触針先端はエッジコンタクト式となっており、酸化膜や硬度のある接触面に良好な接触が実現できるため、オンウェーハ等のアルミ電極においても低接触抵抗による高精度測定が可能です。 　 　この触針構造によりあらゆる形体のパッケージやDUTに対応すべく形状（例VPスタイル）を用意しています。また、 特注対応での非磁気性構造(非磁性)仕様のタイプも製作しています。 　マイクロ波用プローブと共に使用されるDC用マルチコンタクトについては高周波測定における共振等の影響を考慮するため、触針直近にチップコンデンサーや抵抗を配置し取付けるGGB社の特許方式により製作されております。 中村＠NPS

今回は4探針プローブを取上げてみました。"40年以上使用されている標準器具" ４探針プローブは半導体材料の電気抵抗を測定するための電極として、１９６０年代にイギリスのA&M FELL 氏により開発されました。その後、その性能に目をつけたアメリカの現半導体装置メーカーであるキューリック＆ソファ社が買収し販売を開始したことで広く使用されるツールとなりました。 4探針プローブとは 【 40年以上使用されている標準器具 】 　４探針プローブは半導体材料の抵抗率測定を行うための電極として、1960年代にイギリスのA&M FELL氏によりFELLプローブが開発されました。 　その後、その性能に目をつけたアメリカの現半導体装置大手メーカーであるキューリック＆ソファ社が会社を買収し、販売を開始したことで世界的に広く使用されるツールとなりました。 　 　日本では1971年にNPS株式会社（旧社名：ナカムラセイミツ商会）が販売を開始し、全国の半導体メーカーや装置メーカーにご紹介させていただきました。 　当時は「シリコンウェーハの抵抗率を簡易的に安定して測定するにはどうしたら良いか」という状況下で、測定器の開発と共に技術者たちはFELLプローブを半導体抵抗率測定用の重要ツールといち早く評価し今日に至っております。 　FELLプローブが完成するまで何度も試作品製作を繰り返し、数十年後を予測した設計思想と高精度測定が可能となる理論的構造を確立させ、今日の多様化する被測定物にも対応可能な4探針プローブを製造することに成功しました。 　その後、特許化されたFELLプローブは世界的標準器具として半導体メーカー、デバイスメーカー等で使用されるようになりました。 （当時作られた試作品レベルのプローブでもまずまずの出来であったため、開発に携わった技術者たちが別会社を創り販売し出すというエピソードもありましたが、結局は性能と耐久性面で大差があり産業用のツールとしては使用に耐えられなかったということです。） 　4探針プローブは単に針が4本付いた4端子プローブとは異なり、「半導体コンタクトの科学と技術」により生まれた高性能プローブです。 　例えば、針を加圧する内部スプリング（特許部）をとっても数十種類の試作品の中から決定された形であり性能を得る上では根拠のある仕様となっています。 　また、メカ的な部分では、50年前当時は唯一最先端であった古典的な時計製作技術であるルビー摺動を取り入れ針のガイド部の精度を追求しました。 （ルビー摺動部は現在もFELLタイププローブの一部に採用していますが、精度管理と機能上の問題から新型プローブ等については近年の新素材と製造技術により製作された部品を用いています。） 　特に被測定物と接触するニードル部分は、物理的要素や電気的要素を考慮し、被測定物の種類に対応すべく先端構造を形成させています。これらの技術的なこだわりが、測定確度、耐久性、測定能力、等に大きく影響してきます。 　当社代表の中村勇人は、1970年代にA&M FELLのイギリス工場において４探針プローブに関する製造技術とノウ・ハウを習得するための長期間のトレーニングを受け、当時の技術者から直接承継した技術を現在の4探針プローブに生かしご提供させて頂いております。 中村＠NPS

Home Products About Us SEMICON Japan 日本語サイト Product list 　>　Semiconductors and Electronic Materials 　>　P/N Checker P/N Checker Pre-Process of Semiconductors and Liquid Crystal (Inspection) P/N Checker is a reliable tester which distinguishs P-N type of silicon semiconductors by using either rectification method or thermo-electromotive force method. This unit can distinguish a test material between P type and N type by either using a Pin probe or Hot probe. - For wafer: You can check PN by softly pressing the wafer on the stage. - For ingot: You can check PN by softly pressing hot probe on the sample surface. P/N Checker.pdf

It can be used for marking when cutting a silicon wafer or an oxide-coated silicon wafer with a diamond tip at the tip. Shank: Steel 3.175 mm x 25 mm or 38 mm Tip radius: 5-micron point, 12-micron point Home Products About Us SEMICON Japan 日本語サイト Product list 　>　Semiconductors and Electronic Materials 　>　Diamond Scribe Diamond Scribe Other Products It can be used for marking when cutting a silicon wafer or an oxide-coated silicon wafer with a diamond tip at the tip. Shank: Steel 3.175 mm x 25 mm or 38 mm Tip radius: 5-micron point, 12-micron point

P/N判定器はシリコン半導体のＰ－Ｎのタイプを整流性方式、または、熱起電力方式により簡単に判定することができるテスターです。 シリコンウェーハのＰタイプ－Ｎタイプが簡単に判定でき、P on N 等の試料の判定も可能です。 ​簡易マニュアルタイプ、ウェーハとインゴット兼用、低価格が特長です。 ​ 製品ラインナップ 　>　半導体・電子材料関連 　>　P/N判定器 P/N判定器 半導体・液晶 前工程（検査） 　P/N判定器はシリコン半導体のＰ－Ｎのタイプを整流性方式、または、熱起電力方式により簡単に判定することができるテスターです。 　シリコンウェーハのＰタイプ－Ｎタイプが簡単に判定でき、P on N 等の試料の判定も可能です。 　簡易マニュアルタイプ、ウェーハとインゴット兼用、低価格が特長です。 <使用方法> 【 ウェーハ用 】 　判定したいウェーハの面をステージにのせ、軽く押さえつけるだけでウェーハにダメージを与えず、簡単にPNの判定ができます。 【 インゴット用 】 　ホットプローブを試料面に押し当てるだけで、簡単にPNの判定ができます。 PN判定器

首頁 製品 公司簡介 English 日本語サイト 產品一覧 　>　半導體・液晶 前置作業檢查 　>　電阻率測定儀(薄膜電阻測定器) 電阻率測定儀(薄膜電阻測定器) 半導體・液晶 前置作業檢查 專業工程師的高性能工具。 它能夠使用四點探針方法輕鬆且高準確度的測量太陽能薄膜電池上的矽導電膜的電阻或電阻率。 它對應於低電阻到高電阻測量。 <用途> 1）矽鐵錠製造→矽晶片製造檢測（包括成膜等各種工方法） 2）液晶面板（LCD）製造：用於成膜時的產品檢查 3）在檢查各種導電材料的製作過程 使用我們公司配置的“四點探針”可以測量。 【相關產品】四點探針法 ■ Model sigma-5+ 我們可以準確地測量矽晶片的電阻率。也對應太陽能電池的探測器。 它是一個利用20年以上的測量技術而設計和開發的高精度電阻率測量儀器。 在半導體基板，導電薄膜基板等的研發和檢測過程中，可以精確的評估薄層電阻和電阻率值。 ※該照片是與樣品架RG-5的組合。 [基本規格] [特點] ·可以正確的設置智慧開關功能面板 ·桌上型尺寸設計 ·低阻力至高阻力的寬範圍測量 ·電流極性切換測量可抑制整流造成的誤差 ·開始測量時自動歸零功能 ·自動量程功能自動設置最佳電流 ·樣品厚度校正功能 ·平均測量值顯示和印刷機平均值計算功能 ·半導體溫度校正功能 ·各種溫度校正的輸入功能 ·與數據印表機接口 ·與數據連接用接口 ·可以選擇樣品表<基本規格> ■手持式·表面電阻測量儀/電阻率測量儀 使用四探針於方便型 SRM-232 可測量絕緣材料上金屬薄膜的板電阻 (0 ~ 95ω/) 。 PV-628 測量矽晶片的電阻率, 如也可以測量太陽能電池基板。 每個設備都允許您將資料輸出到電腦, 並且電源具有自動斷電功能。 ■手持式·電阻率測量儀 使用四探針於方便型 SRM-232 可測量絕緣材料上金屬薄膜的板電阻 (0 ~ 95ω/) 。 PV-628 測量矽晶片的電阻率, 如也可以測量太陽能電池基板。 每個設備都允許您將資料輸出到電腦, 並且電源具有自動斷電功能。

首頁 製品 公司簡介 English 日本語サイト 公司簡介 聯繫我們 產品的相關資訊，請聯繫我們 TEL: +81-3-3684-2548 / E-Mail: sales@nps-i.co.jp 公司簡介 經營項目（主要產品） 1.用於電阻率測量儀器如半導體和薄膜層的四點探針相關器材 2.半導體，液晶薄膜的片電阻率測量儀 3.用於半導體IC（ULSI，VLSI等）的高性能探頭 4.微波測量探頭和測量裝置 5.測量，實驗，手動和電動，直線旋轉式滑動產品 6.探針，畫線點 7.雷射干涉儀系統 經營理念 我們精心挑選我國工業技術的發展和不可或缺的高科技設備和材料為您服務。 此外，我們會努力聽取客戶的意見和要求，為近年來的行業發展作出貢獻。 作為小生意夥伴，我們將隨時注意產業發展趨勢，實現合理化，降低成本。 我們將以“更優惠的價格，快速的交貨日期提供更優質的服務並且希望我們的客戶意識到我們重要性，讓我們為社會做出貢獻。 代表董事 中村勇人

It can be used for marking when cutting a silicon wafer or an oxide-coated silicon wafer with a diamond tip at the tip. Shank: Steel 3.175 mm x 25 mm or 38 mm Tip radius: 5-micron point, 12-micron point 首页 产品 公司简介 English 日本語サイト 产品阵容 > 半导体·电子材料相关 > 金刚石划线器 钻石刮刀 其他相关部件 　尖端采用钻石刀头，适用于切割带氧化膜的硅晶圆、玻璃等材料时的划线和标记作业。 刀柄：钢制 3.175mm × 25mm 或 38mm 尖端半径：5微米尖端，12微米尖端

首页 制品 公司简介 English 日本語サイト 产品一覧 　>　半导体・电子材料相关 　>　电阻率测量仪 电阻率测定仪(薄膜电阻测定器) 半导体・液晶 前置作业检查 专业工程师的高性能工具。 它能够使用四点探针方法轻松且高准确度的测量太阳能薄膜电池上的矽导电膜的电阻或电阻率。 它对应于低电阻到高电阻测量。 <用途> 1）硅铁锭製造→硅晶片製造检测（包括成膜等各种工方法） 2）液晶面板（LCD）製造：用于成膜时的产品检查 3）在检查各种导电材料的製作过程 使用我们公司配置的“四点探针”可以测量。 【相关产品】四点探针探测器 ■ Model sigma-5+ 我们可以准确地测量矽芯片的电阻率。也对应太阳能电池的探测器。 它是一个利用20年以上的测量技术而设计和开发的高精度电阻率测量仪器。 在半导体基板，导电薄膜基板等的研发和检测过程中，可以精确的评估薄层电阻和电阻率值。 ※该照片是与样品架RG-5的组合。 [基本规格] [特点] ·可以正确的设置智能开关功能面板 ·小型的桌面尺寸设计 ·阻力小~阻力高的宽范围测量 ·电流极性切换测量可抑制整流造成的误差 ·开始测量时自动调零功能 ·自动量程功能自动设置最佳电流 ·样品厚度校正功能 ·平均测量值显示和印刷机平均值计算功能 ·半导体温度校正功能 ·各种温度校正的输入功能 ·与数据打印机接口 ·与数据连接用接口 ·可以选择样品表<基本规格> ■手持式·表面电阻测量仪/电阻率测量仪 使用四探针于方便型 SRM-232 可测量绝缘材料上金属薄膜的板电阻 (0 ~ 95ω/) 。 PV-628 测量硅晶片的电阻率, 如也可以测量太阳能电池基板。 每个设备都允许您将资料输出到电脑, 并且电源具有自动断电功能。 ■方便型·电阻率测量仪 MODEL PV-628是一款专门用于太阳能发电硅等电阻率测量的便携式四点探针测量仪器。 由于电池用作电源，因此携带方便，对待测物体的形状和大小没有限制，使测量变得简单。

首頁 製品 公司簡介 English 日本語サイト 產品一覧 　>　半導體・電子材料相關　>　IC接觸探頭 IC接觸探頭 半導体・液晶 作業後的檢查 0.65毫米，1.27毫米，2.54毫米間距用於IC檢測的其他接觸式探頭，其它例如SOP，SSOP等。它安裝在IC測試處理機上並用。 它耐用，可以低運行成本使用。 電極（針）材質在鈹銅上鍍金。 除此之外，也可製作鈀合金，鎢製造。

弊社はエクセル・プレシジョン（米国EXCEL PRECISION社）の日本における販売代理店として、レーザー干渉計機器を取り扱っております。安定化ゼーマンを採用した2周波He-Neレーザー方式と光ヘテロダイン検出/シグナルプロセッサを組合せ、最小読み取り分解能0.3ナノの高精度で信頼性の高い測長変位計測を可能にし、さらに低コスト化のシステム構築が可能となります。 製品ラインナップ 　>　半導体・電子材料関連 　>　レーザー干渉計測器 レーザー干渉計測器 半導体・液晶 前工程（検査） 半導体・液晶 後工程（検査） 工作機械（検査） 　当社はエクセル・プレシジョン （米国EXCEL PRECISION社）の日本における販売代理店として、レーザー干渉計機器を取り扱っております。 　安定化ゼーマンを採用した2周波He-Neレーザー方式と光ヘテロダイン検出/シグナルプロセッサを組合せ、最小読み取り分解能0.3ナノの高精度で信頼性の高い測長変位計測を可能にし、さらに低コスト化のシステム構築が可能です。エクセル・プレシジョン社は独自で設計、製造を行うレーザー干渉計測器のスペシャリストとして業界での地位を確立しており、世界的に5000台以上の実績があります。 　標準品のみならず、お客様のご要望に応じオーダーメイドのシステムも製作しています。 1001 Laser Head 　EXCEL PRECISION 1001 Laser Head シリーズは2周波ヘリウムネオンレーザーシステムで、特に光学干渉計と関連する検出・光学ハードウェア用に設計されています。1001レーザーヘッドの主な用途は、ウェーハ/FPDステッパー、電子ビーム装置、I.C.検査製品、バックエンドステッパー、精密測定機、超精密工作機械向けです。 　レーザーの周波数安定性は、ゼーマン効果の原理を利用することで達成されレーザー管に縦方向の磁場をかけると、ネオンの原子準位が2つのエネルギー準位に分裂します。これら2つの準位の周波数は、基本的に中心波長に対して等間隔であり、印加された磁場の強さに比例してシフトします。したがって、レーザー管は、磁場の強さに比例した周波数差を持つ2つの周波数で発振しています。これらの2つの周波数は、磁場が印加される前に生成された元の周波数に対して対称的に分離されています。測定中、極めて高い精度と再現性を達成することができます。 　1001 Laser Headの高い分割周波数により、測定速度は1.0m/secに達します（分解能に依存）。すべてのエクセル光学製品と互換性があり、最大6軸の測定に対応します（干渉計6個、受光器6個） 1100B 6要素校正システム 　1100B レーザー校正システムは主に工作機械上の精度管理に使用します。テーブルのガタつきを一度に最大5要素まで検知しデータ化できます。 1100Bレーザー.pdf レーザー干渉計システム構築用資料.pdf ■ 1550A 角度センサー 　1550A 角度センサーは面上やZ駆動部の微小変位を色や反射率に左右されず計測することができます。 3DOptix Warehouse 　ブラウザ上で既製の光学部品を使用して光学シミュレーションを実行できるサービスです。設計検討にご活用ください。 3DOptix Warehouse