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マイクロ波プローブとは

GGB社のマイクロ波プローブは他社製のマイクロ波プローブと異なり、触針先端までが同一導線による完全同軸構造により製作されております。

(GGB社特許)

グランド、シグナル部の触針先端はエッジコンタクト式となっており、酸化膜や硬度のある接触面に良好な接触が実現できるため、オンウェーハ等のアルミ電極においても低接触抵抗による高精度測定が可能となります。

この触針構造によりあらゆる形体のパッケージやDUTに対応すべく形状(例VPスタイル)を用意しております。

特注対応での非磁気性構造(非磁性)仕様のタイプも製作しております。


また、マイクロ波用プローブと共に使用されるDC用マルチコンタクトについては高周波測定における共振等の影響を考慮するため、触針直近にチップコンデンサーや抵抗を配置し取付けるGGB社の特許方式により製作されております。

中村@NPS