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レーザー干渉計測器
当社はエクセル・プレシジョン（米国EXCEL PRECISION社）の日本における販売代理店として、レーザー干渉計機器を取り扱っております。
安定化ゼーマンを採用した2周波He-Neレーザー方式と光ヘテロダイン検出/シグナルプロセッサを組合せ、最小読み取り分解能0.3ナノの高精度で信頼性の高い測長変位計測を可能にし、さらに低コスト化のシステム構築が可能です。エクセル・プレシジョン社は独自で設計、製造を行うレーザー干渉計測器のスペシャリストとして業界での地位を確立しており、世界的に5000台以上の実績があります。
標準品のみならず、お客様のご要望に応じオーダーメイドのシステムも製作しています。
1001 Laser Head
EXCEL PRECISION 1001 Laser Head シリーズは2周波ヘリウムネオンレーザーシステムで、特に光学干渉計と関連する検出・光学ハードウェア用に設計されています。1001レーザーヘッドの主な用途は、ウェーハ/FPDステッパー、電子ビーム装置、I.C.検査製品、バックエンドステッパー、精密測定機、超精密工作機械向けです。
レーザーの周波数安定性は、ゼーマン効果の原理を利用することで達成されレーザー管に縦方向の磁場をかけると、ネオンの原子準位が2つのエネルギー準位に分裂します。これら2つの準位の周波数は、基本的に中心波長に対して等間隔であり、印加された磁場の強さに比例してシフトします。したがって、レーザー管は、磁場の強さに比例した周波数差を持つ2つの周波数で発振しています。これらの2つの周波数は、磁場が印加される前に生成された元の周波数に対して対称的に分離されています。測定中、極めて高い精度と再現性を達成することができます。
1001 Laser Headの高い分割周波数により、測定速度は1.0m/secに達します（分解能に依存）。すべてのエクセル光学製品と互換性があり、最大6軸の測定に対応します（干渉計6個、受光器6個）
1100B 6要素校正システム
1100B レーザー校正システムは主に工作機械上の精度管理に使用します。テーブルのガタつきを一度に最大5要素まで検知しデータ化できます。
■ 1550A 角度センサー
1550A 角度センサーは面上やZ駆動部の微小変位を色や反射率に左右されず計測することができます。
3DOptix Warehouse
ブラウザ上で既製の光学部品を使用して光学シミ ュレーションを実行できるサービスです。設計検討にご活用ください。
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