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4探針プローブ [NPSバージョン]
抵抗率を測定する時に用いる高精度なプローブです。 
現在、導電性材料の抵抗値を測定する最も信頼性の高い方法として4探針法があります。その測定で使用されるプローブの機械的性能が、測定の精度を大きく左右することは多くの測定技術者が認めるところです。
特に、接触式の破壊検査における半導体の測定には精度とともに耐久性が課題となります。
長年の経験と実績を誇るNPS製四探針プローブは高精度な半導体プローブとして世界的に認められており、標準プローブとして測定器メーカー各社が採用しています。
新規開発のニードルは高耐久性
金属製のワンピース構造とし低抵抗金属を接続部に使用し良好な導電性を保ち、さらにNPS独自の"マイクロエッジコンタクト"加工処理(IP,MT,SB,EP等)を行なうことにより多様化する試料の安定した測定が保証されます。(日本国内アセンブル品、調整品、および、アフターサービス品)
NPSは4探針プローブの取扱いを開始して半世紀が経つ
専門会社です。プローブに関する技術相談、プローブ修理・検定等、また他社製プローブの調整も行ないます。(ナプソン、KLA、MPP、他メーカー対応)
<主な特長>
高精度・高耐久性・世界標準器具・ 低価格・短期修理再生(FELLタイプ)針先からコネクターまで連続結線、特許式のリーフスプリング機構により接触時の変動が極小、試料別針先仕様, 日本国内での部品調達、アセンブル、性能管理
​【関連製品】抵抗率測定器(シート抵抗測定器)
■新型高性能4探針プローブ(NPタイプ)
高性能4探針プローブは、NPSが初めて国内にご紹介させていただいて以来半世紀近くが経過し、今日では抵抗測定用電極の標準器具としてご使用いただいております。NPSは、長年蓄積した4探針プローブの技術的ノウハウ、および、性質を熟知した技術者により、精度、耐久性、コストパフォーマンスに優れる新型4探針プローブの開発・製造と販売を行っております。新型4探針プローブは以下の特長を有しております。
 
主な改良点と特長
精度向上、耐久性向上、コストダウン、従来品(JANDEL,MPP製)の致命的欠点部分の改善、Made in Japan
■ 4探針プローブ
4探針プローブ針先拡大図
4探針プローブに関することは弊社までお問合せください!
4探針プローブを構成する各部品は、専用の加工機械の開発・製作から行い、専任の技術スタッフによる製造から出荷までの品質管理を行なうことにより、高精度、高耐久性の4探針プローブの提供を可能としています。また、長年の経験と国内ユーザーからのご要求に対応するため、独自の仕様を設定し、アセンブルを行なっております。4探針プローブに関する技術的な相談も承っております。詳細は弊社営業までお問合せ下さい。弊社の4探針プローブを初めてお使いになられるユーザー様にトライアル価格でご提供致します。また各社4探針プローブの修理、カスタマイズ(部品交換・オーバーホール)のご依頼にも柔軟に対応しております。​お気軽にお問い合わせください。
主な使用用途
シリコンウェーハ、ITO薄膜等のシート抵抗値、抵抗率による膜厚測定管理
研究目的における体積抵抗率、表面抵抗率(Ω、Ω-cm、Ω/sq) 

 

■ ハンドプローブ
ハンドプローブ
手持ちで簡単に抵抗率測定が行えるハンディタイプの4探針プローブです。
​インゴット等に使用可能です。
0.1mmピッチ4探針プローブ
0.1mmピッチ4探針プローブ
MODEL SEP-4は、針間隔が0.1mmピッチのシート抵抗測定用4探針プローブです。 針4本の距離が0.3mm(リニア)と微小のため電界エネルギーの影響範囲が小さく、小面積5x5mm のパッドの場合でもエッジから0.5mm付近までは電界電力の影響を受けずにシート抵抗測定をすることができます。
弊社マイクロポジショナー800MRFに取付固定ができます。お手持ちの実体顕微鏡と併用する事で微細な試料の抵抗率測定にご使用いただけます。
探針材質 タングステン(W) ベリリウム銅(BeCu)
探針先形状 フラット(F) ラウンド(R)
各探針間隔 0.1mm(総距離0.3mm) 0.3mm(総距離0.6mm)
​リード線 60cm オプションでバナナプラグ等取り付けが可能です。
0.1mm4探針プローブ
0.1mm4探針プローブ
​針先の3Dイメージ。
40μR、100μR、150μR、200μR、400μR
キャプチャ.PNG