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今回はGGB社製のT-4ニードル（別名キャットウィスカーニードル）を取上げてみました。 T-4ニードルは超LSＩや液晶等の微細回路解析を行う技師から”使い勝手が良い”と　とても高評価のプローブニードルです。 もともと低入力容量プローブであるピコプローブの専用ニードルとして開発されたものを一般プロービング用としても使えないかということで考案された製品です。そのため、ピコプローブを使用するフィールドでは多く併用されています。 T-4ニードルとは GGB社製 T-4ニードル（別名キャットウィスカーニードル） 　T-4ニードルは超LSＩや液晶等の微細回路解析を行う技師から「使い勝手が良い」と高評価のプローブニードルです。 　「低入力容量プローブであるピコプローブの専用ニードルとして開発されたものを、一般プロービング用としても使えないか」 ということで考案された製品です。そのため、ピコプローブを使用するフィールドでは多く併用されています。 　サブミクロン級電子回路の研究開発・検査解析等における電源供給、電圧、電流測定を目的とした電気特性検査では、人間が直接微細回路へアプローチするための針当て（コンタクト）作業が必要となります。（一般的にこれらの作業を総称してプロービングと言います。） 　このプロービングの際に一般的なサイズのφ0.5ｍｍのプローブニードルを用いた場合、その先端半径が小さいものでも0.5～1μＲ程あるため、コンタクトが可能となるエリアの制限と物理的な問題が生じてしまいます。 　この問題は、Φ0.5mm程の太い軸部が顕微鏡の視界を妨げることや、過大圧力による回路損傷、ニードル先端の曲がり、等が発生してプロービングの不具合原因ともなります。 　T-4ニードルは変形自在のΦ0.5mmワイヤーに、コンタクト素材となる髪の毛より細い極小（5μ、10μ、20μ、35μ、60μ）のタングステンワイヤー（キャットウィスカー部）を接続して製作しているため、タングステンワイヤー独自の柔軟性が適正なバネ圧力となり過剰な負荷が低減され、回路へのコンタクトを安定させることができます。 　極小径のワイヤーに対し先端のテーパー部分はさらに細くなっているため、パシベーション剥離後のレーザースポットにも容易にコンタクトができます。 　IC開発が盛んな1980年代、技師達は当時まだ1μmレベルの回路にコンタクトが可能なニードルが存在していなかったため、金のボンディングワイヤーを手で引延し切断してその伸びて尖った部分をニードルの変わりとして利用しICの解析を行っていました。 　その技師達の苦労をヒントにT-4ニードルが誕生しました。プロービングは顕微鏡下で行いますが職人技の作業となります。 中村＠NPS 写真左がT-4ニードルのタングステンワイヤー部 右は一般プローブニードル

It is the contact probe which is mounted on an IC test handler and can be used for such as SOP, SSOP in addition to 0.65 mm, 1.27 mm, 2.54 mm pitch and etc. Home Products About Us SEMICON Japan 日本語サイト Product list 　>　Semiconductors and Electronic Materials 　>　IC Contact Probe IC Contact Probe Post-Process of Semiconductors and Liquid Crystal (Inspection) It is the contact probe which is mounted on an IC test handler and can be used for such as SOP, SSOP in addition to 0.65 mm, 1.27 mm, 2.54 mm pitch and etc. It is durable and can be used at low running cost. Electrode (needle) material is gold plated on beryllium copper. Besides, it is possible to manufacture with palladium alloy and tungsten.

我们进口、出口、制造和销售半导体和电子行业所需的检查和测量设备以及制造设备。我们致力于 “新技术 ”带来的 “精度”，并通过我们的追求为客户提供最高价值。我们的产品广泛应用于对精度要求特别高的领域，如半导体和液晶相关领域。 Home 产品 关于我们 English 日本語サイト 追求新的精密技术 我们进口、出口、制造和销售半导体和电子行业所需的检查和测量设备以及制造设备。 我们致力于 “新技术 ”带来的 “精度”，并通过我们的追求为客户提供最高价值。 我们的产品广泛应用于对精度要求特别高的领域，如半导体和液晶相关领域。 ➤ 询问 4-needle probe 4-needle probe Microwave Test Stand 4-needle probe 1/5 Product 产品 电阻率测量仪 手动式测量仪，采用四探针法简单而准确地测量金属薄膜等的片状电阻或电阻率。 详细内容 集成电路Pico探头 在测量设备负荷最小的情况下进行测量，从而确保忠实再现数字波形。 详细内容 4-探头 在开始使用四点探头半个世纪后，它们已成为全球公认的测量电阻率的高精度半导体探头。 详细内容 > Products SEMICON JAPAN 1977-2024 　 我们自半导体制造和测试设备综合展览会 「SEMICON JAPAN」 创办以来一直参展。在此，我们对多年来给予我们大力支持的众多客户表示衷心的感谢。 ➤ SEMICON JAPAN Copyright © NPS Inc. All Rights Reserved. Address: Kameido 6-12-4, Koto-ku, Tokyo, 136-0071, JAPAN / TEL: +81-3-3684-2548 / FAX: +81-3-3684-2287 / E-Mail: sales@nps-i.co.jp

GGB社製 マイクロ波用RFプローブ　機能比較表 製品ラインナップ 　>　半導体・電子材料関連 　>　マイクロ波用ピコプローブ 　>　機能比較表 マイクロ波用ピコプローブ　機能比較表 マイクロ波プローブ 校正用基板（マイクロ波プローブ用） 校正用基板（ >110GHz用） 校正用基板（デュアルタイププローブ用）

微動位置決め・検査用テーブルとして、ちょっとした所に使用できる、精密スライダー(XYテーブル）です。豊富な種類を用意しております。 ブレ、ガタ等が無く高剛性につくられています。 製品ラインナップ 　>　位置決め精密機械 　>　精密位置決めステージ UniSlide（ユニスライド）精密位置決めステージ 位置決め精密機械 　微動位置決め・検査用テーブルとして使用できる精密スライダー(XYテーブル）です。組み合わせによりXYZ、電導、手動、豊富な種類を用意しております。 ブレ、ガタ等が無く高剛性につくられています。 <製品>　米国VELMEX, INC. Linear Stages【リニアステージシリーズ】 昇降テーブルやXYテーブルなど、さまざまな構成、モデル、サイズをご用意しています。 XY Stages【XYステージシリーズ】 お客様のインデックス、スキャン、固定、位置決め、ゲージング要件に対応する組立済みXYテーブル。 Rotary Stages 【ロータリーシリーズ】 スキャニング、組立、テスト、生産のための正確で連続的な回転運動を提供します。 総合カタログ.pdf 各製品の詳細はこちら➤ Velmex製品の活用例 https://www.velmex.com/Examples/working_examples.html TA測定システム 　Velmex「TA」システムは、研究者が非接触で測長分析を行うために特別に設計されたシステムです。発売以来、Velmex「TA」システムは、米国のendrological research communityの標準となっています。 　TAシステムは、以下のような多目的な用途に使用されています。 - 木の年輪成長測定 - 軟体動物の成長研究 - サンゴへの生態的影響 - プローブ等の位置決め - 精密ボアカメラ検査 - 材料の応力解析 - その他、高精度な非接触測定・位置決めが必要なアプリケーション 耐久性とコンパクト性を向上させながら、手頃な価格で高精度を実現させたシステムとなっております。 ※Velmexのシステムには、顕微鏡や専用の解析ソフトは含まれていません。 機器構成 TA "システムは、以下で構成されています。 1. 早送り付UniSlide®、送りピッチ1mm/回転　 2. リニアエンコーダ（分解能0.001mm） 3. Velmex VRO™　スケールデジタルカウンター 　（リニアエンコーダに接続しコンピュータに測定値を記録するためのインターフェース　VRO-1B ベース付き) オプション品 1. VXM-USB-RS232シリアル・ケーブル 2. VRO-TAB2 リモートリセット・送信用リモート入力モジュール PAP測定システム 　PAP測定システムはXーYの2軸ステージで構成され、応用可能な計測として、 コンクリートやアスファルトの骨材や粒子の組成、気泡や空洞、また、堆積物や土壌中の物質サイズの分析などがあります。 　ステージは手動、または、電動の選択が可能です。 ※Velmexのシステムには、顕微鏡や専用の解析ソフトは含まれていません。

It can be used for marking when cutting a silicon wafer or an oxide-coated silicon wafer with a diamond tip at the tip. Shank: Steel 3.175 mm x 25 mm or 38 mm Tip radius: 5-micron point, 12-micron point 首页 产品 公司简介 English 日本語サイト 产品阵容 > 半导体·电子材料相关 > 金刚石划线器 钻石刮刀 其他相关部件 　尖端采用钻石刀头，适用于切割带氧化膜的硅晶圆、玻璃等材料时的划线和标记作业。 刀柄：钢制 3.175mm × 25mm 或 38mm 尖端半径：5微米尖端，12微米尖端

抵抗率を測定する時に用いる高精度プローブです。  現在、導電性材料の抵抗値を測定する最も信頼性の高い方法として直流4探針法があります。その測定で使用されるプローブの機械的性能が、測定の精度を大きく左右することは多くの測定技術者が認めるところです。 特に、半導体材料の測定時には精度とともに耐久性が問題となります。 長年の経験と実績を誇るNPS製4探針プローブは高精度プローブとして世界的に認められており、標準プローブとして測定器メーカー各社が採用しています。 製品ラインナップ 　>　半導体・電子材料関連 　>　4探針プローブ 4探針プローブ 半導体・液晶 前工程（検査） 　抵抗率を測定する時に用いる高精度なプローブです。 現在、導電性材料の抵抗値を測定する最も信頼性の高い方法として4探針法があります。その測定で使用されるプローブの機械的性能が測定精度を大きく左右することは多くの測定技術者が認めるところです。 　特に、接触式の破壊検査における半導体の測定には精度とともに耐久性が課題となります。 　長年の経験と実績を誇るNPS製【MADE IN JAPAN】の４探針プローブは高精度な半導体プローブとして世界的に認められており、標準プローブとして各国の測定器メーカーに採用いただいております。 　 　新規開発のニードルは、接続部に高耐久性ワンピース構造の低抵抗金属を使用することで良好な導電性を保ち、さらにNPS独自の「マイクロエッジコンタクト加工処理」（IP,MT,SB,EP等）により、多様化する試料の安定した測定が保証されます。(日本国内アセンブル品、調整品、および、アフターサービス品) 　NPSは、４探針プローブの取扱いを開始して半世紀が経つ専門会社です。プローブに関する技術相談、プローブ修理・検定等、また他社製プローブの調整も行ないます。（ナプソン、KLA、MPP、共和理研、他メーカー対応） <主な特長> 高精度・高耐久性・世界標準器具・ 低価格・短期修理再生（FELLタイプ）針先からコネクターまで連続結線、特許式のリーフスプリング機構により接触時の変動が極小、試料別針先仕様, 日本国内での部品調達、アセンブル、性能管理 【関連製品】抵抗率測定器（シート抵抗測定器） ４探針プローブをもっと知る 4探針プローブ（NPタイプ） 　ＮPS製の４探針プローブは、各部品を全て日本国内で製造し組み立て調整することで安定した供給と組立精度を実現しました。 1971年創業当時より４探針プローブの取り扱いを始めて以来半導体の発展とともに蓄積されたノウハウが今日の４探針プローブに生かされています。 　 様々な試料に対応できるよう４探針プローブヘッドに独自の調整を行い、4探針法抵抗率測定の高精度化を実現しております。さらに、自社の抵抗率測定器とともに精度管理を行うことで信頼性のある製品をご提供させていただいております。 　 4探針プローブを例えると、機械でいうところのセンサー部分に当たります。 このセンサー部分の性能の良し悪しが測定結果に多大な影響を及ぼすのは言うまでもありません。 　当社又は各社の測定器に対応したコネクターを接続することによりご使用いただけます。 4探針プローブ 総合カタログ 旧タイププローブに関するお知らせ 　４ 探針プローブを構成する各部品は、専用の加工機械の開発・製作から行い、専任の技術スタッフによる製造から出荷までの品質管理を行なうことにより、高精度、高耐久性の４探針プローブの提供を可能としています。また、長年の経験と国内ユーザーからのご要求に対応するため、独自の仕様を設定し、アセンブルを行なっております。 　 ４ 探針プローブに関する技術的な相談も承っております。詳細は弊社営業までお問合せ下さい。 　当社 の4探針プローブを初めてお使いになられるユーザー様にトライアル価格でご提供致します。また各社4探針プローブの修理、 カスタマイズ（部品交換・オーバーホール）のご依頼にも対応しております。 お気軽にお問い合わせください。 主な使用用途 シリコンウェーハ、ITO薄膜等のシート抵抗値、抵抗率による膜厚測定管理 研究目的における体積抵抗率、表面抵抗率（Ω、Ω-cm、Ω/sq） 4探針プローブ　使い切りモデル 4探針プローブの修理に関して スクエアプローブ 4探針プローブヘッド 　この名称は、電極が正方形の形状を形成していることに由来しており、電極の間隔は等しくなっています。標準的な電子材料等のシート抵抗測定においては電極探針が直列の4探針法を用いて行いますが、ここでは電極探針が正方形状に配列されたスクェアプローブによるシート抵抗測定についての資料をご提供いたします。 スクェアプローブを用いたシート抵抗測定資料 K-89PSシリーズ向け取付治具 　専用の取付治具をオプションで販売しております。共和理研製の４探針プローブと同一の測定架台に取り付ける事が可能となります。詳しくは当社営業までお問い合わせください。 4探針プローブヘッド 　低価格で高精度なNPプローブに加えて弊社では修理調整可能な4探針プローブヘッドも製造しております。 　修理可能なモデルの4探針プローブは修理・調整することにより再生使用が可能となります。また、ニードル、ガイド等の消耗部品のみの交換によりランニングコストを抑えることができます。 　NPSは長年、海外製4探針プローブを自社内にて日本規格の精度にリアセンブルを行い販売、修理調整等を行いお客様にご提供させていただいておりました。 しかしながら、旧来の技術で製造された部材ではどうしてもクリアできない不具合が発生するため、精度と品質の向上を図るべく改良設計を弊社で行い、50年以上培ったノウ・ハウを基盤とした高精度4探針プローブの自社製造を行う経緯にいたりました。 TypeA~I TypePE 　プローブの種類は、測定試料の材質、表面状態、形状などに応じて選択します。 【測定サンプル】 推奨する当社の4探針プローブ（NPタイプの場合） 【バルクインゴット・ブロック材】 ➤プローブ型番 NP1-TSB2 (仕様:TC-40uR-200g) 例:先端半径40uR、針圧力200g 【シリコン基板（ラップ、ミラー等）】 ➤プローブ型番 NP1-TSB2 (仕様:TC-40uR-200g) 【エピタキシャル層】　　　　 ➤プローブ型番 NP4-TEP2 (仕様:TC-200uR-200g)　　　　 【エピタキシャル層 (<1µm)】 ➤プローブ型番 NP4-TEP1(仕様:TC-200uR-100g) 【浅い拡散層】 ➤プローブ型番 NP4-TIP1(仕様:TC-200uR-100g) 　　　　　　　 NP4-PMT1(仕様:P-200uR-100g) 【イオン注入層】 (低ドーズ） ➤NP5-TIP1 (仕様:TC-400uR-100g) 　　　　　　　 （高ドーズ） ➤NP4-TIP2(仕様:TC-200uR-200g) 【金属薄膜】 ➤プローブ型番 NP4-TMT1(仕様:TC-200uR-100g) NP4-PMT1(仕様:P-200uR-100g) 【ITO層】 ➤プローブ型番 NP5-TFT1(仕様:TC-400uR-100g) ■ ハンドプローブ 手持ちで簡単に抵抗率測定が行えるハンディタイプの4探針プローブです。 インゴット等に使用可能です。 ハンドプローブ ■ SR-BOX 基準抵抗が内部にセットされている抵抗 BOX でプローブと測定器の簡易チェックが行え ます。基準抵抗器は 1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω の 4 種類で、いずれも 保証精度 ±1％（使用抵抗器 ±0.1％）となります。 SR-BOX 0.1ｍｍピッチ4探針プローブ MODEL SEP-04は、針間隔が0.1mmピッチのシート抵抗測定用4探針プローブです。 針4本の距離が0.3mm(リニア)と微小のため電界エネルギーの影響範囲が小さく、小面積5x5mm のパッドの場合でもエッジから0.5mm付近までは電界電力の影響を受けずにシート抵抗測定をすることができます。 0.1mmピッチ4探針プローブ 弊社マイクロポジショナー 800MRFに取付固定ができます。お手持ちの実体顕微鏡と併用する事で微細な試料の抵抗率測定にご使用いただけます。 探針材質　タングステン（W） ベリリウム銅（BeCu） 探針先形状　フラット（F）　ラウンド（R） 各探針間隔　0.1mm（総距離0.3mm）　0.3mm(総距離0.6mm) リード線　90cm　オプションでバナナプラグ等取り付けが可能です。 ※このプローブは独自仕様となる為下記の仕様表には適合しません 針先の3Dイメージ。 40μR、100μR、150μR、200μR、400μR

首页 产品 公司简介 English 日本語サイト 产品阵容 > 半导体·电子材料相关 > 微波用Pico探针 微波用Pico探针（射频探针） 微波测量 美国GGB公司生产的微波用Pico探针（RF探针）是采用GGB公司独创的连续式同轴结构（已获专利）的微波器件测试探针，兼具低损耗与高耐久性。此外，其多触点探针可与直流探针组合使用，通过电容器与电阻的混合结构（已获专利）实现了发射等低损耗测量。 　该高频探针深受追求严苛测量数据的技术人员青睐。 　板簧式接地片结构与边缘接触方式实现了低接触电阻与优异的测量重复性，同时可定制镍材质针尖。此外，100μm以下间距规格及车载电子设备用大电流探针等定制需求亦可垂询。 产品兼具低损耗、高复现性与高耐久性，通过专利同轴结构与专利旁路电容方案等技术确保卓越性能。 【相关产品】微波测试治具·微定位器 [特点] ■坚固结构与高性能 　Pico探针的信号部分采用从连接器到针尖的连续同轴结构。这种连续同轴结构具有卓越的信号传输特性，能够将信号可靠地传输至峰值频率范围。此外，接触中的针尖不易受外部振动引起的共振影响，其结构设计在针尖接触时的过载情况下也具有极强的抗性。 ■多样化探针款式 　为适配平面基板、封装件等各类样品形态的测量需求，Pico探针提供多种款式选择。 ■便捷的针尖定位 　与被测物接触的接地针尖采用弹簧结构，通过与固定信号线针尖及接地针部保持恒定间隙，可依据该间隙进行精准定位，确保接触始终稳定。 ■点接触设计 　Pico探针针尖采用点接触结构，确保稳定接触。该设计能有效排斥被测物氧化层，实现良好接触，同时显著降低接触时产生的位置偏差误差，保障测量精度。 微波用Pico探针功能对比表

首頁 製品 公司簡介 English 日本語サイト 產品一覧 　>　半導體・電子材料相關　>　P/N決定器 P/N決定器 半導體・液晶 前置作業檢查 P / N決定器是一種能夠通過整流方法或熱電勢，容易地判斷矽半導體的PN的類型測試器。 P型 - N型矽晶片可以很容易地判斷，並且可以對樣品例如N上的P進行判斷。 簡單的手動型，結合矽晶片和矽錠，特色是價格低廉。 <如何使用> 對於晶圓：在要檢測的晶圓表面放置在平台上，輕輕按下，不會損壞晶圓，您可以輕鬆判斷PN。 對於鐵錠：只需將熱探針按壓在樣品表面，便可輕鬆判斷PN。

首页 制品 公司简介 English 日本語サイト 产品一覧 　>　半导体・电子材料相关　>　微定位器 微定位器 半导体・液晶 作业后的检查 它是一种微动定位装置，可通过千分尺驱动型进行高精度定位。 安装一个专用适配器，以便安装由美国GGB公司製造的pico探头。 MODEL 800系列是专为微探针设计的高性能微型定位器。 採用本实用新型的定位机构和三轴一体化微型定位系统，可实现高精度探测。 【相关产品】IC检测用探针 ■ Model 800M Series ■ Model 800V Series

首页 制品 公司简介 English 日本語サイト 产品一覧 　>　半导体・电子材料相关　>　IC接触探头 IC接触探头 半导体・液晶 作业后的检查 0.65毫米，1.27毫米，2.54毫米间距用于IC检测的其他接触式探头，其它例如SOP，SSOP等。它安装在IC测试处理机上并用。 它耐用，可以低运行成本使用。 电极（针）材质在铍铜上镀金。 除此之外，也可製作钯合金，钨製造。

Because the SS magnet is made of stainless steel, it is suitable for use in places where rust should not be generated. The detachment can be done easily with the ON / OF lever. Home Products About Us SEMICON Japan 日本語サイト Product list 　>　Positioning Precision Machinery 　>　SS Magnet SS Magnet Positioning Precision Machinery Because the SS magnet is made of stainless steel, it is suitable for use in places where rust should not be generated. The detachment can be done easily with the ON / OFF lever. SS Magnet.pdf