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激光干涉仪
半导体・液晶 前置作业检查
半导体・液晶 作业后的检查
作为EXCEL PRECISION(EXCEL PRECISION,USA)在日本的经销商,我们代理激光干涉仪设备, 结合使用稳定塞曼效应和光学外差探测/信号处理器的双频He - Ne激光系统,可以测量0.3纳米的最小读数分辨率的高度准确和可靠的测量,并且还可以实现低成本系统。 EXCEL PRECISION有限公司作为独立设计和製造的激光干涉测量仪器的行业中建立了自己的地位。
我们在全球拥有超过5000台以上的实绩。 我们不仅製造标准正规产品,依客户的要求接受订製的系统。
第三选择。 EXCEL PRECISION公司的激光干涉仪 您的机器。 会发出怪声音吗? 如果您有EXCEL PRECISION以司的激光干涉仪,您可以检查纳米级别的精度。
■1100B 6元素校正系统
1100 B激光校正系统主要用于机械的质量管理。 一次最多可以检测到5个元素,并且检测后形成表格化。
■1550角度感测器
1550A角度感测器可以测量表面和Z驱动部件的微小位移,不会受到颜色和反射率的影响。
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