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​プローブ全般

プローブって何?

電子機器分野でプローブと称するものは、電気的測定で使用するための電極となる外部的なコンタクト部を指し一般的に針形状や棒形状のような機能的に通電接続が容易となる形状のものを指します。 


単純に測定物に接続できれば良いもの?

プローブを用いた電気的測定システムをイメージした場合、測定器と比較してプローブ は回路的に単純な構成部分となり、ただ単に被測定物と接続させるだけのツールとして捉えられ測定が実行されると想定してしまいます。

しかしながら、実際に電気的測定を行う場合にはプローブそのものの性能となる物理的な要因や電気的な要因(導電率等)が測定の重要なファクターとなるため、これらを考慮しないと正確な測定は実行されません。

内部電位が異なるプローブと被測定物との接続は複雑で、特に被測定物が空間電荷層の 発生しやすい半導体になるとその要因が整流現象を左右し測定結果に大きく影響する接続となってしまいます。仮に金属同士のであっても接触時の抵抗が影響して完全な接続(オーミックコンタクト)は実現しません。

そのために、電気的測定ではこれらの要因に対応すべくプローブの選定が必要となります。


NPSのプローブは? 

NPSでは素材の選定や製造技術により最良の接続を目的とする為のプローブをご提供しております。

例えば、半導体回路内の電気特性検査で使用されるプローブニードルでは、金属電極用として接触の安定を図るため貴金属系素材であるパラジウム合金やオスミウム合金を使用し、接触抵抗の高い半導体用やアルミ電極用としてタングステン、タングステンカーバイトを使用して製作しております。

主にIC検査で使用されるピコプローブについては電気的な負荷要因の低減と専用の特殊な針先構造により高精度な低負荷測定を実現しております。
シート抵抗測定用で用いられる4探針プローブではシリコン基板ウェーハ、イオン注入層、 エピタキシャル、アルミ等、それぞれのウェーハタイプに対応した専用プローブ(メカニカル)をご用意しております。

これらのコンタクト部となる先端は精密加工技術により、被測定物との安定した接続が可能となります。


中村@NPS