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首页 制品 公司简介 English 日本語サイト 产品一覧 　>　半导体・电子材料相关 　>　电阻率测量仪 电阻率测定仪(薄膜电阻测定器) 半导体・液晶 前置作业检查 专业工程师的高性能工具。 它能够使用四点探针方法轻松且高准确度的测量太阳能薄膜电池上的矽导电膜的电阻或电阻率。 它对应于低电阻到高电阻测量。 <用途> 1）硅铁锭製造→硅晶片製造检测（包括成膜等各种工方法） 2）液晶面板（LCD）製造：用于成膜时的产品检查 3）在检查各种导电材料的製作过程 使用我们公司配置的“四点探针”可以测量。 【相关产品】四点探针探测器 ■ Model sigma-5+ 我们可以准确地测量矽芯片的电阻率。也对应太阳能电池的探测器。 它是一个利用20年以上的测量技术而设计和开发的高精度电阻率测量仪器。 在半导体基板，导电薄膜基板等的研发和检测过程中，可以精确的评估薄层电阻和电阻率值。 ※该照片是与样品架RG-5的组合。 [基本规格] [特点] ·可以正确的设置智能开关功能面板 ·小型的桌面尺寸设计 ·阻力小~阻力高的宽范围测量 ·电流极性切换测量可抑制整流造成的误差 ·开始测量时自动调零功能 ·自动量程功能自动设置最佳电流 ·样品厚度校正功能 ·平均测量值显示和印刷机平均值计算功能 ·半导体温度校正功能 ·各种温度校正的输入功能 ·与数据打印机接口 ·与数据连接用接口 ·可以选择样品表<基本规格> ■手持式·表面电阻测量仪/电阻率测量仪 使用四探针于方便型 SRM-232 可测量绝缘材料上金属薄膜的板电阻 (0 ~ 95ω/) 。 PV-628 测量硅晶片的电阻率, 如也可以测量太阳能电池基板。 每个设备都允许您将资料输出到电脑, 并且电源具有自动断电功能。 ■方便型·电阻率测量仪 MODEL PV-628是一款专门用于太阳能发电硅等电阻率测量的便携式四点探针测量仪器。 由于电池用作电源，因此携带方便，对待测物体的形状和大小没有限制，使测量变得简单。

Main Products ･4-point probes and related equipment for resistivity measurement of semiconductors, thin film layers, etc. ･semiconductor and liquid crystal thin film sheet resistivity measurement equipment ･high performance probes for characterization of semiconductor ICs (ULSI, VLSI, etc.) ･microwave measurement probes and measurement equipment ･various types of linear and rotary slides, manual and motorized, for measurement and laboratory use ･probe needles and scripe points Home Products About Us SEMICON Japan 日本語サイト Product List 1. Pre-Process Semiconductors and Electronic Materials Pre-Process of Semiconductors and Liquid Crystal (Inspection) Resistivity Processor P/N Checker 4-Point Probe Laser Interferometry Tools *Usable for both pre and post process 2. Post-Process Post-Process of Semiconductors and Liquid Crystal (Inspection) Picoprobe for IC Micro Positioner 50Ω Coaxial Probe IC Contact Probe Probe Needle 3. Microwave&Other Microwave Measurement Picoprobe for Microwave Jig tool for Microwave Testing Other Products Capillary Blank Diamond Scribe 4. Positioning Precision Positioning Precision Machinery X-Y Slider Tables SS Magnet

首页 制品 公司简介 English 日本語サイト 产品一覧 　>　半导体・电子材料相关　>　四点探针探测器 四点探针探测器 [NPS Version] 半导体・液晶 前置作业检查 它是用于测量电阻率的高精度探头。 目前，直流四点探针法是测量导电材料电阻值最可靠的方法。 许多测量工程师认定测量中使用的探头的机械性能极大地影响了测量的准确性。 特别是在测量半导体材料时，会出现精度和耐久性问题。 拥有多年经验和良好记录的NPS 四点探针在全球被公认为高精度探头，并被测量仪器製造商用作标准探头。针部分使用耐用的金属在金属和远端的低导体电阻, 和 NPS 自己的 "Microedge 接触 " 处理 (IP, MT, 某人, 通过执行 EP 等), 保证了多种不同样品的稳定测量。 (日本国内组装产品、调整和售后产品) NPS 是40年来的探针专家, 另外还为探頭、探针修復和测试以及其他公司所做的其他探头提供技术谘询。 (对于 Napson, 其他测量仪器) <主要功能> 高精度·高耐久性·世界标准装备·低价格·短期维修再生（FELL型）从针尖到连接器的连续连接，通过专利的板迭板式弹簧，专用针规格， 採购，装配，性能管理 【相关产品】电阻率测量仪 ■ 四点探针探测器 构成四点探针的每个部件都是由专用加工机器的开发和生产製造的，从製造到出货的品质控制都是由专职技术人员进行，由此可以提供具有高精度和高耐用性产品 。 此外，为了满足国内用户的要求，我们制定了自己的规格并进行组装。我们还提供各种四点探针的维修或改装服务。如果您想了解更多信息，请随时与我们联系。 ■ 轻小型探测器 这是一个手持式测量的四点探针。 它可以用于硅铁锭等。 ■ 0.1mm间隔 MODEL SEP-4是一个四点探针，用于测量针距为0.1 mm间距的薄层电阻。 由于四根针之间的距离小至0.3mm（线性），因此电场能量的影响范围很小，并且即使在面积为5×5mm的小面积的焊盘的情况下，电阻测量也不受电场电力的影响。 可安装并固定在我们的微型定位器800MRF上。 尖端材料 钨(W)，铍铜(BeCu) 尖端形状 扁平(F)，圆形(R) 针距0.1mm（总距离0.3mm）0.3mm（总距离0.6mm）。 0.3mm(总距离0.6mm)引出线60cm香蕉插头等可选装。

Home Products About Us SEMICON Japan 日本語サイト Product list 　>　Semiconductors and Electronic Materials 　>　Resistivity Processor Sheet Resistivity Measuring Instruments Pre-Process of Semiconductors and Liquid Crystal (Inspection) High quality tool for professionals ! Using the 4-point probe method, this device ensures precise measurement of the sheet resistance of metallic thin film as well as semiconductor materials like a solar battery silicon with easy & simple operation. For the following product inspections 1) Processes from silicon to wafer manufacturing 2) Liquid crystal panels (LCD) manufacturing 3) Manufacturing process of wide range of electric conductivity elements. Optional 4-Point Probe is needed for the measurement. 【Related Product】4-Point Probe ■ Model sigma-5+ It ensures a precise measurement of the resistivity of silicon wafers and other relative materials. We also offer you handy type probes of sillicon for solar panels. Sigma-5+ is a high-end resistivity measuring instrument and the reason of the high performance is based on our 20 years+ experience of resistivity measuring. You will be able to get and evaluate the accurate sheet resistivity and resistivity rate in product line. Also, you can use it for the R&D and inspection process of semiconductor subtrate and conductive thin film subtrate. * Sigma-5+ and sample stage in the photo. [Specification] [Features] - Detailed test available through intelligent control panel - Desktop size desing - With wide range of measurement - Automatic exchange of polarity of electricity - Automatic reset-zero adjustment - Automatic range selection - Sample thickness adjustment - Average value output and printout - Special function - correction of temperature (for silicon) - Temperature input correction factor - Interface for the data printer - Interface for data transfer (RS232C) - Stages available: RG-5, RG-12, RGE-12 sigma5+.pdf ■ Handy-type Sheet resistance & Resistivity meters SRM-232 Sheet Resistance Meters are low-cost hand-held sheet resistance testing systems that include a meter and a four-point probe for use in measuring the sheet resistance of applied coatings such as conductive paints, EMI coatings, ITO on glass, etc. We also available PV-628 for the resistivity of the Si wafers, such as solar cells foundation. Each device enables you to output data to computers, and power source has the auto power-off function. ■ Handy-type Resistivity meter Model PV-628 MODEL PV-628 is a handy-type measuring instrument using 4-point probe method and is designed only for silicon of solar power generation. You can use it without considering the shape and size of the object. It's a portable device which works with battery cells.

Home Products About Us SEMICON Japan 日本語サイト Product list 　>　Semiconductors and Electronic Materials 　>　Picoprobe for Microwave Picoprobe for Microwave Microwave Measurement Picoprobe (design and manufactured by GGB Industries,Inc. ) for microwave (RF probe) is a test probe for microwave devices combining low loss and high durability by GGB's unique continuous coaxial structure (patented). Also, with multi-contact probes that can be arranged with DC probes, it is now possible to reduce transmission measurements such as transmission by using a hybrid configuration of capacitors and resistors (patented). Picoprobe is widely adopted for engineers sticking to severe data measurement. With the leaf spring type ground chip structure and edge contact method, low contact resistance can be realized and good measurement reproducibility is obtained, and needle tip made of nickel material can be manufactured. Please contact us for pitch of 100 μm or less, large current probe for car electronics etc. It has low loss, high repeatability and high durability, and has its own performance by patented coaxial structure and patented bypass capacitor method etc. 【Related Products】Jig tool for Microwave Testing ・ Micro Positioner [Features] ■ Strong structure and high performance The signal part of the Picoprobe has a continuous coaxial structure from the connector part to the needle tip. This continuous coaxial structure is excellent in signal transmission characteristics and can reliably transmit a signal to the peak frequency region. In addition, the attached needle tip is hardly affected by the resonance caused by external vibration, and is also strong against overloading when attaching to the needle tip. ■ Various styles Several styles are available for the Picoprobe for measuring various sample shapes such as flat board and package. ■ Easy needle probe The tip of the grant attaching to the DUT of the Picoprobe has a spring-like structure. In contrast, a fixed gap is made between the fixed signal line needle tip and the ground needle portion. Because this gap can be used as a guideline for needle guarding, you can always contact in a stable state. ■ Point contact The tip of the Picoprobe has a point shape so that stable contact is always obtained. It ensures the reliable measurement because it repels the oxide film of the object and reduces misalignment error occurring when contacting the needle tip. Function comparison table of picoprobles for microwave

Home Products About Us SEMICON Japan 日本語サイト Product list 　>　Semiconductors and Electronic Materials 　>　P/N Checker P/N Checker Pre-Process of Semiconductors and Liquid Crystal (Inspection) P/N Checker is a reliable tester which distinguishs P-N type of silicon semiconductors by using either rectification method or thermo-electromotive force method. This unit can distinguish a test material between P type and N type by either using a Pin probe or Hot probe. - For wafer: You can check PN by softly pressing the wafer on the stage. - For ingot: You can check PN by softly pressing hot probe on the sample surface. P/N Checker.pdf

Home Products About Us SEMICON Japan 日本語サイト Four point probe Are you having problems with your 4- point probe? NPS can solve that problem for you! In this article, we will focus on the four-point probe. A standard instrument in use for over 40 years. The four-point probe was developed by A&M FELL of the UK in the 1960s as an electrode for measuring the resistivity of semiconductor materials. Later, the company was acquired by Kulick & Soffer, a major U.S. manufacturer of semiconductor equipment, which took notice of its performance and began selling it, and it became a tool widely used worldwide. In Japan, NPS (formerly known as Nakamura Precision Shokai) started selling the product in 1971, and introduced it to semiconductor manufacturers and equipment manufacturers. At that time, it was still difficult to find a simple and stable way to measure the resistivity of silicon wafers, and engineers quickly recognized the FELL probe as an important tool to solve the problem of semiconductor resistivity measurement, along with the development of measuring instruments. After repeated prototyping until the completion of the FELL probe, we established a design concept that predicted the next several decades and a theoretical structure that enabled high-precision measurement, and succeeded in creating a four-pronged probe that could be used with today's diversified objects to be measured. Later, the patented FELL probe became a worldwide standard instrument used by semiconductor and device manufacturers. (There was an episode where the engineers who were involved in the development of the probe created a separate company to market the probe because it was so good even at the prototype level, but in the end, the difference in performance and durability was so great that it could not be used as an industrial tool. Unlike a four-terminal probe, which simply has four needles, a four-prong probe is a high-performance probe created by "the science and technology of semiconductor contact. For example, the internal spring that pressurizes the needle (patented part) was determined from dozens of prototypes, and is a specification that has a basis in performance. For the mechanical part, we adopted the classic ruby guide for needle movement technique, which was the only cutting-edge watchmaking technology at that time 50 years ago, to pursue the accuracy of the hand guide. (Ruby sliding is still used in some of our FELL type probes, but for the sake of accuracy control and functionality, we use parts made with new materials and manufacturing technology for new probes.) For the needle part in particular, which comes into contact with the object to be measured, the tip structure is formed to correspond to the type of object to be measured, taking into consideration the physical and electrical elements. These technical considerations greatly affect the measurement accuracy, durability, measurement capability, and so on. In the 1970s, NPS President Hayato Nakamura spent a long period of time training at A&M FELL's factory in England to learn the manufacturing technology and know-how of four-point probes, and the technology he inherited directly from the engineers at that time is utilized in the current four-point probes. Nakamura@NPS

抵抗率を測定する時に用いる高精度プローブです。  現在、導電性材料の抵抗値を測定する最も信頼性の高い方法として直流4探針法があります。その測定で使用されるプローブの機械的性能が、測定の精度を大きく左右することは多くの測定技術者が認めるところです。 特に、半導体材料の測定時には精度とともに耐久性が問題となります。 長年の経験と実績を誇るNPS製4探針プローブは高精度プローブとして世界的に認められており、標準プローブとして測定器メーカー各社が採用しています。 製品ラインナップ 　>　半導体・電子材料関連 　>　4探針プローブ 4探針プローブ 半導体・液晶 前工程（検査） 　抵抗率を測定する時に用いる高精度なプローブです。 現在、導電性材料の抵抗値を測定する最も信頼性の高い方法として4探針法があります。その測定で使用されるプローブの機械的性能が測定精度を大きく左右することは多くの測定技術者が認めるところです。 　特に、接触式の破壊検査における半導体の測定には精度とともに耐久性が課題となります。 　長年の経験と実績を誇るNPS製【MADE IN JAPAN】の４探針プローブは高精度な半導体プローブとして世界的に認められており、標準プローブとして各国の測定器メーカーに採用いただいております。 　 　新規開発のニードルは、接続部に高耐久性ワンピース構造の低抵抗金属を使用することで良好な導電性を保ち、さらにNPS独自の「マイクロエッジコンタクト加工処理」（IP,MT,SB,EP等）により、多様化する試料の安定した測定が保証されます。(日本国内アセンブル品、調整品、および、アフターサービス品) 　NPSは、４探針プローブの取扱いを開始して半世紀が経つ専門会社です。プローブに関する技術相談、プローブ修理・検定等、また他社製プローブの調整も行ないます。（ナプソン、KLA、MPP、共和理研、他メーカー対応） <主な特長> 高精度・高耐久性・世界標準器具・ 低価格・短期修理再生（FELLタイプ）針先からコネクターまで連続結線、特許式のリーフスプリング機構により接触時の変動が極小、試料別針先仕様, 日本国内での部品調達、アセンブル、性能管理 【関連製品】抵抗率測定器（シート抵抗測定器） ４探針プローブをもっと知る 4探針プローブ（NPタイプ） 　ＮPS製の４探針プローブは、各部品を全て日本国内で製造し組み立て調整することで安定した供給と組立精度を実現しました。 1971年創業当時より４探針プローブの取り扱いを始めて以来半導体の発展とともに蓄積されたノウハウが今日の４探針プローブに生かされています。 　 様々な試料に対応できるよう４探針プローブヘッドに独自の調整を行い、4探針法抵抗率測定の高精度化を実現しております。さらに、自社の抵抗率測定器とともに精度管理を行うことで信頼性のある製品をご提供させていただいております。 　 4探針プローブを例えると、機械でいうところのセンサー部分に当たります。 このセンサー部分の性能の良し悪しが測定結果に多大な影響を及ぼすのは言うまでもありません。 　当社又は各社の測定器に対応したコネクターを接続することによりご使用いただけます。 4探針プローブ 総合カタログ 旧タイププローブに関するお知らせ 　４ 探針プローブを構成する各部品は、専用の加工機械の開発・製作から行い、専任の技術スタッフによる製造から出荷までの品質管理を行なうことにより、高精度、高耐久性の４探針プローブの提供を可能としています。また、長年の経験と国内ユーザーからのご要求に対応するため、独自の仕様を設定し、アセンブルを行なっております。 　 ４ 探針プローブに関する技術的な相談も承っております。詳細は弊社営業までお問合せ下さい。 　当社 の4探針プローブを初めてお使いになられるユーザー様にトライアル価格でご提供致します。また各社4探針プローブの修理、 カスタマイズ（部品交換・オーバーホール）のご依頼にも対応しております。 お気軽にお問い合わせください。 主な使用用途 シリコンウェーハ、ITO薄膜等のシート抵抗値、抵抗率による膜厚測定管理 研究目的における体積抵抗率、表面抵抗率（Ω、Ω-cm、Ω/sq） 4探針プローブ　使い切りモデル 4探針プローブの修理に関して スクエアプローブ 4探針プローブヘッド 　この名称は、電極が正方形の形状を形成していることに由来しており、電極の間隔は等しくなっています。標準的な電子材料等のシート抵抗測定においては電極探針が直列の4探針法を用いて行いますが、ここでは電極探針が正方形状に配列されたスクェアプローブによるシート抵抗測定についての資料をご提供いたします。 スクェアプローブを用いたシート抵抗測定資料 K-89PSシリーズ向け取付治具 　専用の取付治具をオプションで販売しております。共和理研製の４探針プローブと同一の測定架台に取り付ける事が可能となります。詳しくは当社営業までお問い合わせください。 4探針プローブヘッド 　低価格で高精度なNPプローブに加えて弊社では修理調整可能な4探針プローブヘッドも製造しております。 　修理可能なモデルの4探針プローブは修理・調整することにより再生使用が可能となります。また、ニードル、ガイド等の消耗部品のみの交換によりランニングコストを抑えることができます。 　NPSは長年、海外製4探針プローブを自社内にて日本規格の精度にリアセンブルを行い販売、修理調整等を行いお客様にご提供させていただいておりました。 しかしながら、旧来の技術で製造された部材ではどうしてもクリアできない不具合が発生するため、精度と品質の向上を図るべく改良設計を弊社で行い、50年以上培ったノウ・ハウを基盤とした高精度4探針プローブの自社製造を行う経緯にいたりました。 TypeA~I TypePE 　プローブの種類は、測定試料の材質、表面状態、形状などに応じて選択します。 【測定サンプル】 推奨する当社の4探針プローブ（NPタイプの場合） 【バルクインゴット・ブロック材】 ➤プローブ型番 NP1-TSB2 (仕様:TC-40uR-200g) 例:先端半径40uR、針圧力200g 【シリコン基板（ラップ、ミラー等）】 ➤プローブ型番 NP1-TSB2 (仕様:TC-40uR-200g) 【エピタキシャル層】　　　　 ➤プローブ型番 NP4-TEP2 (仕様:TC-200uR-200g)　　　　 【エピタキシャル層 (<1µm)】 ➤プローブ型番 NP4-TEP1(仕様:TC-200uR-100g) 【浅い拡散層】 ➤プローブ型番 NP4-TIP1(仕様:TC-200uR-100g) 　　　　　　　 NP4-PMT1(仕様:P-200uR-100g) 【イオン注入層】 (低ドーズ） ➤NP5-TIP1 (仕様:TC-400uR-100g) 　　　　　　　 （高ドーズ） ➤NP4-TIP2(仕様:TC-200uR-200g) 【金属薄膜】 ➤プローブ型番 NP4-TMT1(仕様:TC-200uR-100g) NP4-PMT1(仕様:P-200uR-100g) 【ITO層】 ➤プローブ型番 NP5-TFT1(仕様:TC-400uR-100g) ■ ハンドプローブ 手持ちで簡単に抵抗率測定が行えるハンディタイプの4探針プローブです。 インゴット等に使用可能です。 ハンドプローブ ■ SR-BOX 基準抵抗が内部にセットされている抵抗 BOX でプローブと測定器の簡易チェックが行え ます。基準抵抗器は 1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω の 4 種類で、いずれも 保証精度 ±1％（使用抵抗器 ±0.1％）となります。 SR-BOX 0.1ｍｍピッチ4探針プローブ MODEL SEP-04は、針間隔が0.1mmピッチのシート抵抗測定用4探針プローブです。 針4本の距離が0.3mm(リニア)と微小のため電界エネルギーの影響範囲が小さく、小面積5x5mm のパッドの場合でもエッジから0.5mm付近までは電界電力の影響を受けずにシート抵抗測定をすることができます。 0.1mmピッチ4探針プローブ 弊社マイクロポジショナー 800MRFに取付固定ができます。お手持ちの実体顕微鏡と併用する事で微細な試料の抵抗率測定にご使用いただけます。 探針材質　タングステン（W） ベリリウム銅（BeCu） 探針先形状　フラット（F）　ラウンド（R） 各探針間隔　0.1mm（総距離0.3mm）　0.3mm(総距離0.6mm) リード線　90cm　オプションでバナナプラグ等取り付けが可能です。 ※このプローブは独自仕様となる為下記の仕様表には適合しません 針先の3Dイメージ。 40μR、100μR、150μR、200μR、400μR